марганцевые силицидные пленки на кремниевом подложке

DOCX 5 pages 614.1 KB Free download

5 pages

FaylHub.uz

Download via Telegram

Size 614.1 KB

File type DOCX

Pages 5

Updated Dec 2025

Page preview (5 pages)

Scroll down 👇

1 / 5

приложение 2. получение марганцевых силицидных пленок на кремниевом подложке методом диффузии нурулло ф. зикриллаев1 orcid: 0000-0002-6696-5265 e-mail: zikrillaev.n@gmail.com м.м.шоабдурахимова 1 orcid: 0000-0002-1879-6751 e-mail:shoabduraximova.m@gmail.com э.б. саитов 2 orcid: 0000-0001-7691-6849 e-mail: elyor.saitov@utas.uz 1ташкентский государственный технический университет, ташкент, 100095, республика узбекистан 2ташкентский университет прикладных наук, ташкент, 100149, республика узбекистан e-mail: elyor.saitov@yandex.ru аннотация: изучение автогенерационных токов в компенсированном кремнии, содержащем атомы марганца, цинка, серы или селена, позволяет наблюдать за несколькими типами нестабильностей токов, имеющими различную природу и условия возбуждения. определены предельные области автогенерационных токов, такие как температурные нестабильности, рекомбинационные волны, а также нестабильности инъекции в зависимости от температуры, электрического поля, интенсивности освещения и типа сопротивления и проводимости образцов компенсированного кремния. из анализа полученных данных показана возможность использования обнаруженных автогенерационных токов в компенсированном кремнии для создания твердотельных генераторов и датчиков физических величин. ключевые слова: автогенерационные токи, сила электрического поля, освещение, температура, компенсированный кремний, амплитуда, частота, неравномерность, энергия фотонов. 1. введение изучение диффузионного распределения примесей в …

2 / 5

оверхности кремния образуются силцидные и другие металлические и диэлектрические пленочные слои. состояние поверхности кремния после получения диффузионной примеси с примесными атомами не было подробно изучено. некоторые авторы не обращали внимания на изучение свойств поверхности кремния, обработанного диффузионной примесью, удаляя слои близкой поверхности при изучении процессов диффузии атомов примеси в полупроводнике [5, 6]. в данной статье представлены результаты исследования кремния, загрязненного атомами марганца, образовавшегося на поверхности высокомарганцевых силцидов. пленки марганца силсида были получены в вакуумной кварцевой ампуле при давлении р=10(-5) ÷ 10(-6) мм рт. ст. [7]. в качестве подложек использовались монокристаллы кремния марок kdb-1 и kdb-10 размером 10 × 10 × 0,8 мм³ и [11] по кристаллографической оси. поверхность подложек была механически и химически очищена перед загрузкой в ампулу. расчеты времени диффузии марганца в кварцевой ампуле показали, что его количество достаточное для полной осадки на кремниевой подложке. образцы медленно охлаждались в воздухе без нарушения вакуумного уровня. результаты исследований показали, что управление …

3 / 5

на структуру полученных пленок. для контроля состава и структуры полученных пленок использовались рентгеновские и электронные микроскопические методы. фазовый анализ марганцевосилцидных пленок проводился с использованием рентгеновских отражательных спектров на приборе dron-1. топология и элементный состав полученных пленок марганцевого силсида оценивались с помощью рентгеновского микроанализатора на сканирующем электронном микроскопе уха-840. анализ полученных рентгеновских рисунков показал, что при термообработке при температуре t=800÷1100°c формируются поликристаллические пленки, соответствующие высокомарганцевым силцидным фазам. с помощью рентгеновского микроанализатора было установлено, что пленки, выращенные в диапазоне температур t=910÷1040°c, близки по составу к объемному hsm (mnsi). определена зависимость микроструктуры полученных пленок от температуры подложки (тsubs.). при температуре t≤880°c образуются аморфные пленки марганцевого силсида, а с увеличением температуры до t≥970°c формируется монокристаллический слой, состоящий из марганцевого моносилсида. топология полученных пленок была исследована с помощью сканирующего электронного микроскопа. на основе изображений поверхности пленок марганцевого силсида были определены размеры зерен. например, размеры зерен образцов, полученных при t=1070°c, составляют примерно 5÷20 мкм. электронно-дифракционные рисунки, …

4 / 5

т технологических режимов диффузии марганца структурные исследования позволили оптимизировать условия получения марганцевосилцидных пленок с определенными электрическими и физическими параметрами. 3. экспериментальные результаты и их обсуждение анализ данных литературы [8-12] показывает, что mn0.25si1-0.25 (hsm), образованный при температуре термообработки t=1050÷1150°c, является наиболее перспективным материалом для термоэлектрических генераторов (конвертеров) в фотоэлектронике. установлена зависимость между фазовым составом силцидных пленок и коэффициентом анизотропного термоэлектрического эмф, а также показана возможность получения поликристаллических пленок, близких по электрическим и кинетическим параметрам к массивному монокристаллу hsm. показано, что технологические факторы, такие как уровень вакуума, температура подложки, объем кварцевой ампулы, обработка поверхности подложки и условия охлаждения, являются важными при производстве пленок hcm. таблица 1. физические параметры пленок марганцевого силсида (вакуум р~106 мм рт. ст., быстрое охлаждение) температура диффузии, °c температура диффузии, rr, ом поверхностное сопротивление ρ, ohm×cm коэффициент проводимости, sv, µv/w hall коэффициент, rx,1/ohm•cm-1 1120 264 0,004 266 0,065 1110 180 0,012 310 0,059 1070 165 0,023 486 0,062 1040 …

5 / 5

о моносилицида и высокомарганцевых силицидов, при этом моносилицид является преобладающим, а в верхнем слое в основном присутствуют слои фазы hsm. интересные научные результаты [13,14] были получены в условиях вакуума р≈10-2 мм рт. ст., где осуществлялась диффузия атомов марганца в силицид и последующее медленное охлаждение. в этих условиях образовались пленки с частицами hsm размером до 10 мкм. дополнительный термический отжиг образцов при температуре t=350÷800°c привел к увеличению размера частиц hsm. обнаружено, что такие пленки обладают высоким коэффициентом проводимости [15] и имеют анизотропные характеристики кинетики и термоэлектрических параметров, соответствующих единому кристаллу hsm. при исследовании топологии поверхности силицида с высокомарганцевыми силицидами было установлено, что средний размер частиц составляет 4–5 мкм, хотя отдельные кристаллические частицы достигают размера примерно 10 мкм. микрографии полученных пленок hsm представлены на рисунке 1. a) при разрешении 10 мкм. b) при разрешении 5 мкм. рисунок 1. поликристаллическая пленка марганцевых силицидов на основе силицида «для отражательной» электронной дифракции. анализ результатов комплексных …

Want to read more?

Download all 5 pages for free via Telegram.

Download full file

About "марганцевые силицидные пленки на кремниевом подложке"

приложение 2. получение марганцевых силицидных пленок на кремниевом подложке методом диффузии нурулло ф. зикриллаев1 orcid: 0000-0002-6696-5265 e-mail: zikrillaev.n@gmail.com м.м.шоабдурахимова 1 orcid: 0000-0002-1879-6751 e-mail:shoabduraximova.m@gmail.com э.б. саитов 2 orcid: 0000-0001-7691-6849 e-mail: elyor.saitov@utas.uz 1ташкентский государственный технический университет, ташкент, 100095, республика узбекистан 2ташкентский университет прикладных наук, ташкент, 100149, республика узбекистан e-mail: elyor.saitov@yandex.ru аннотация: изучение автогенерационных токов в компенсированном кремнии, содержащем атомы марганца, цинка, серы или селена, позволяет наблюдать за несколькими типами нестабильностей токов, имеющими различную природу и условия возбуждения. определены предельные области...

This file contains 5 pages in DOCX format (614.1 KB). To download "марганцевые силицидные пленки на кремниевом подложке", click the Telegram button on the left.

Tags: марганцевые силицидные пленки н… DOCX 5 pages Free download Telegram