проблема легирования аморфного гидрогенизированного кремния а-si(h)

DOC 12 стр. 232,5 КБ Бесплатная загрузка

12 стр.

FaylHub.uz

Скачать через Telegram

Размер 232,5 КБ

Тип файла DOC

Страницы 12

Обновлено Дек 2025

Предварительный просмотр (5 стр.)

Прокрутите вниз 👇

1 / 12

автореферат природа примесних состоянии, образуемы радкоземелыними металлами в амораном гидрогенизированном кремнии проведено легирование аморфного гидрогенизированного кремния а-si (h) методом совместного распыления монокристаллической мишени кремния и соответствующего редкоземельного металла неодим, самарий, европий, гадолиний, тербий, диспрозий, гольмий, эрбий, иттербий. показано, что все перечисленные металлы, кроме европия, образуют в зазоре подвижности а-полосы акцепторного типа, лежашие вблизи середины зазора подвижности, центры европия образуют зазоре подвижности полосу донорного типа. такое различие в поведении европия и остальных редкоземельных металлов объясняется особенностями заполнения 4f оболочки атомы европия. природа примесных состояний, образуемы радкоземельными металлами в аморфном гидрогенизированном кремнии проблема легирования аморфного гидрогенизированного кремния а-si ( h ) давно привлекает внимание исследователей / i /. основным методом, приводяшим к эффективному изменению электрических и фотоэлектрических свойств а-si ( h ) является легирование из газовой фазы. именно таким методом проводится легирование пленок а-si ( h ) бором и фосфором, что позволило создать ряд электронных приборов на основе данного материала ( фотопреобразователей, …

2 / 12

позволило получить пленки “ приборного класса “ . напряжение на высокочастотном электроде было 950-1050 в, скорость напыления составляла 4-5 а0.с-i, растояние между электродами было 65 мм. пленки легировались следующими рзм: неодим, самарий, европий, гадолиний, тербий, диспрозий, гольми, эрбий, иттербий. все эти металлы имеют незаполненную 4ʄ оболочку и следовало ожидать аналогии в их поведении. чистота легируюших добавок была 99.999 % . концентрация примеси определялась с учетом коэффициента распыления и плошади рзм на мозаичной мишени и во всех случаях она составляла 0.i ат %. измерялись следуюшие свойства: температурная зависимость электропроводности б ( т ), температурная зависимость коэффициента термоэдс s ( т ), оптическая ширина запрешенной зоны ео. зарядовое состояние примесей европия, диспрозия и иттербия определялось методом мессбауэровской спектроскопии. для специально нелегированного а-si ( h ) в температурном интервале 250-500 к зависимость б ( т ) была линейной в координатах ln б-т-i ( рис.1 ) с энергией активации е б=0.58 эв. коэффициент термоздс …

3 / 12

и lnб-т-1 наблюдается иэлом и переход к проводимости с е6=0.70 эв в области низких температур ( см. рис. 1). по влиянию на коэффициент термоэдс все исследованные примеси делятся на три группы. ( металлы первой группы тербий, диспрозий, иттербия ) не меняют знак s . но абсолютное значение s падает и не превышает 400 мкв.к-1 при 295 к и 600 мкв. к-1 при 500 к ( см. таблицу ) . металлы второй группы ( самарий, гадолиний, эрбий ) настолько понижают абсолютное значение s , что при 295 к мы не смогли определить его знак, но при т= 500 к s возростает до 500 мкв.к-i (знак s при т≥ 350 к-отрицателен ) (см . таблицу ). наконец. металлы третьей группы ( неодим, гольмий ) приводят к положительному знаку s при т≤ 330 к, но при более высоких температурах происходит инверсия знака s и при т=500 к абсолютное значение s достигает 300 мкв. …

4 / 12

сти. в области низких температур проводимость осушествляется дырками по делокализованным состояниям валентной зоны с энергией активании е6= ( f-ev)0, где ev-порог подвижности валентно зоны: знак оказывается положительным, а его малое абсолютное значание объясняется вкладом в проводимость не только дырок, но и электронов. для примесных атомов третьей группы такой механизм проводимости реализуется при т330-370 к , причем значение вб в низкотемпературной области ( ~0,7 эв ) хорошо совпадает с ожидаемым значением вб= ( f-ev ) ~0/69-0/70 эв. с ростом температуры уровень ферми поднимается к ес и в некоторой области температур легированный материал ведет себя как собственны полупроводник, причем одинаковый вклад в проводимость электронов и дырок приводит к нулевому значению s . для примесей второй группы эта область температур лежит при 330-350 к, а для примесей третьей группы – при 330-370 к. наконец, при дальнейшем повышении температуры начинает преобладать электронная проводимость с энергией активации ео= ( ес- f )о. на зависимости lnб …

5 / 12

ские спектры примесных втором 151 еи, 161 ду и 170 уϐ в а-si (h ) и оказалось, что если примесные атоми диспрозия и иттербия стабилизируются в структурной сетке аморфного материала в виде ионов ме3+ ,то примесные атомы европия стабилизируются в виде ионов ме2+( см.рис.3 ). очевидно, для атомов европия в структуре а-si (h ) оказывается более устойчивым состояние с полузаполненной 4ʄ оболочкой, что и приводит к изменению природы электрической активности примесных центров ( для всех центров рзм эта активность носит акцепторный характер, а для центров европия – донорный характер). таблица, параметры энергии активации и термоэдс а-si (h ) , легированного рзм _________________________________________________________ примес е6 . эв 295 к s.мк.к-1 500 к _________________________________________________________ нелегированный 0.58 -1950 -1400 неодим 1.02 +50 -300 самерий 0.97 ~0 -500 европий 0.20 -2050 -1400 гадолиний 0.89 ~0 -470 тербия 0.80 -350 -600 диспрозий 0.73 -400 -600 гольмий 1-01 +50 -300 эрбий 0.91 ~0 -520 иттербий 0.70 …

Хотите читать дальше?

Скачайте все 12 страниц бесплатно через Telegram.

Скачать полный файл

О "проблема легирования аморфного гидрогенизированного кремния а-si(h)"

автореферат природа примесних состоянии, образуемы радкоземелыними металлами в амораном гидрогенизированном кремнии проведено легирование аморфного гидрогенизированного кремния а-si (h) методом совместного распыления монокристаллической мишени кремния и соответствующего редкоземельного металла неодим, самарий, европий, гадолиний, тербий, диспрозий, гольмий, эрбий, иттербий. показано, что все перечисленные металлы, кроме европия, образуют в зазоре подвижности а-полосы акцепторного типа, лежашие вблизи середины зазора подвижности, центры европия образуют зазоре подвижности полосу донорного типа. такое различие в поведении европия и остальных редкоземельных металлов объясняется особенностями заполнения 4f оболочки атомы европия. природа примесных состояний, образуемы радкоземельными металлами...

Этот файл содержит 12 стр. в формате DOC (232,5 КБ). Чтобы скачать "проблема легирования аморфного гидрогенизированного кремния а-si(h)", нажмите кнопку Telegram слева.

Теги: проблема легирования аморфного … DOC 12 стр. Бесплатная загрузка Telegram

проблема легирования аморфного гидрогенизированного кремния а-si(h)

Предварительный просмотр (5 стр.)

Хотите читать дальше?

О "проблема легирования аморфного гидрогенизированного кремния а-si(h)"

Похожие файлы